ARIS Integra主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统
ARIS Integra主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统紧凑型模块化主动隔振系统，能够抵消影响超高精密设备或工具的振动，多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载，安装简易，无需抬高及重新校准。
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常见问题答疑
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针对电镜室安装环境的振动和磁场测试超标的问题,分析了振动、磁场干扰的原因和特性,采用增大电镜基础结合缓冲垫层的方法来隔振,通过低碳钢板和纯铁板双层材料磁屏蔽技术来防磁,实践结果满足了电镜安装的要求
主动隔振是感应器感受到振动压力信号，然后转换成电信号，传输给作动器，作动器输出相反方向的力，以抵消振动。主动隔振可以减少低频和高频振动，特别是对于低频段的隔振效果远好于被动隔振； 被动隔振是利用弹性物质例如弹簧、充气平台、橡胶等物体的物理性质去减少振动，能降低20Hz以上的高频振动，对低频振动的效果不大
当然需要。 一般电镜供应商会在设备安装环境要求中提出使用者的安装环境要求——包括对震动、磁屏蔽、温度、湿度等几个重要的环境因素。其中震动要求会提出高频、低频震动的具体控制范围。否则不能保证达到验收要求。
对于扫描电镜来说，外界震动会造成在电子束下落过程中，样品相对电子束发生位移，从而使得电子束轰击位置出现错位，扫描电镜图像上会出现锯齿或抖动。由于扫描电子显微镜观测倍率高，微小的震动也会影响使用
